Cyflenwad Pŵer Magnetron Pwls Uchel-Power
Manteision Cyflenwad Pŵer Pwls Uchel Pwls Uchel Technoleg Sputtering Pwls Uchel Pwls (HIPIMS) ● Mae'r pŵer ysgogol magnetron DC confensiynol wedi'i gyfyngu gan straen thermol y targed. ● Gall y rhan fwyaf o'r ynni gwrthdensiwn ïon gael ei drosi'n uniongyrchol i egni thermol y ...
- Cyflwyniad Cynnyrch
Manteision Technoleg Sputtering Magnetron Pwls Uchel ( HIPIMS )
● Mae'r pŵer ysgogiad magnetron DC confensiynol wedi'i gyfyngu gan straen thermol y targed.
● Gall y rhan fwyaf o'r ynni gwrthdrawiadol ïon droi'n uniongyrchol i egni thermol y targed.
● Mae'r ffynhonnell pŵer magnetron pwls yn sicrhau pŵer pwls uchel a chylch dyletswydd isel.
● Gall y ffynhonnell pŵer magnetron pwls ddisodli'n uniongyrchol ffynhonnell pŵer sputtering DC magnetron yn uniongyrchol.
Cymhariaeth rhwng Rhyddhau Sputtering Magnetron Pwls Uchel Pŵer Uchel a Rhyddhau Ysbwriel Magnetron DC
Nodweddion Rhyddhau Sputtering Pwls Magnetron Uchel Pŵer | Nodweddion Rhyddhau Sputtering D Magnetron |
Mae foltedd rhyddhau cathod yn 500 ~ 2000 V, Dwysedd cyfredol yw hyd at 3 ~ 4A / cm 2 . | Dwysedd y maes magnetig yw 0.01 ~ 0.05 T tra bod y foltedd gweithio yn 300 ~ 700 V o dan bwysau gweithio nodweddiadol magnetnet DC (1 ~ 10 mTorr). |
Dwysedd electron ger wyneb y swbstrad : 10 18 ~ 10 19 m - 3 | Dwysedd electron ger arwyneb y swbstrad: 10 15 ~ 10 16 m -3 |
Dwysedd pŵer: 1 ~ 3kW / cm 2 | Cyfradd ïoneiddio isel (~ 1%) o'r targed yn ystod ysbwriel. |
Amlder: 100 ~ 1000Hz | Mae ïonau nwy annert yn y mwyafrif |
Cylch dyletswydd: 1% ~ 10% | Mae angen offer ionization ategol ychwanegol (RF o ficrodon). |
Nodweddion Cyflenwad Pŵer Sputtering Pwls Uchel Pwls Magnetron
● Mae'r gollyngiad electrod positif a negyddol yn cael ei reoli gan switsh cyflym i'w osgoi i fynd i mewn i ardal rhyddhau arc o ardal rhyddhau glow annormal o'r ysbwriel magnetron traddodiadol. Y dwysedd presennol yw hyd at 1018- 1019 / m3, sy'n hynod o uwch na'r ysbwriel magnetron traddodiadol. Ac â chyfradd ionization uchel iawn o 80% -99%, gall yn hawdd adneuo amrywiaeth o ffilmiau uwch gyda gludiant cryf.
● Mae pŵer ysbwriel magnetron pŵer uchel yn darparu nodweddion ffilm rhagorol o ran cysondeb ffilm, caledwch, gwrthsefyll gwisgo a gludiog.
● Mae technoleg atal arc PHP yn sicrhau bod defnyddwyr yn gallu rheoli ansawdd y ffilm yn fwy cyfleus yn y broses o driniaeth arwyneb. Gyda nodweddion sefydlogi foltedd a coup de foue delfrydol, gall y cyflenwad pŵer wahardd yr arcing ar wyneb y gweithle yn effeithiol, a gwella'n sylweddol y cynnyrch cynhyrchu, mân wyneb a gludiad ffilm y darnau plastro.
● Mae'r cyflenwad pŵer magnetron pwmp uchel pŵer yn mabwysiadu technoleg ffynhonnell ynni pŵer newid gwrthdröydd uchel uchel a modiwl pŵer IGBT pŵer uchel
● Gan ddefnyddio'r microcontrolwr sgrin gyffwrdd, mae'r cyflenwad pŵer yn hynod integredig a phwerus gyda gweithrediad hawdd. Mae arddangos y foltedd presennol a foltedd yn glir iawn ac yn reddfol. Hefyd, mae'n cefnogi cyfrif aml-sianel cyflymder uchel a swyddogaeth bwls cyflym.
● Mae gan y cyflenwad pŵer y swyddogaethau amddiffynnol ar gyfer gor-gyflyrau, gor-foltedd a thros tymheredd.
● Gall y cyflenwad pŵer gyfathrebu â'r cyfrifiadur gwesteiwr drwy'r porthladdoedd digidol fel RS232, RS485, WIFI ac yn y blaen, sy'n ehangu ei swyddogaeth rheoli.
Manyleb Cynnyrch:
Model Cynnyrch | |
Pŵer Mewnbwn ac Amlder (V / Hz) Three Phase And Four Wire | AC380 + N |
| 60Hz | |
Amrediad Cyfredol Allbwn (A) | 0 ~ 500 |
Cywirdeb ar gyfer Voltag Cyson a Chyson Cyfredol | ≤1% |
Voltedd Allbwn Graddedig (DCV) | 800 |
Uchafswm pŵer Cyfartalog (KW) | 40 |
Pŵer brig (KW) | 400 |
Seiclo'r ddyletswydd (%) | <> |
Pwysau (KG) | 60 |
Dimensiynau Allanol (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Gradd Inswleiddio | B |
Cynhyrchiant (%) | 90 |
Dosbarth Amddiffyn Cau | Ip21 |
Modd Gweithredu | Mae Modiwlau Cyson, Voltage Cyson, ModernAnd Cyson yn Opsiynol. |
Modd Oeri | Oeri dŵr |
Rhyngwyneb Allanol | Mae'r Cynhyrchion Cyfres hwn i gyd yn Mabwysiadu'r Microcontrolwr Sgrin Gyffwrdd |
Cymhariaeth rhwng Ffynhonnell Pŵer Sputtering Uchel-Power Impulse Magnetron EP50A80H a Chynhyrchion Eraill
Sputtering Uchel-Power Impulse Magnetron | |||
Brand | Hauzer | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
Pŵer Cyfartaledd Uchaf | 20KW | 20KW | 40KW |
Pŵer Braf | 1MW ~ 8MW | 360KW | 400KW |
foltedd | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
Cyfredol | 1KA, 2KA, 4KA | 600 | 500 |
Canfod Arc | <> | <> | <> |
Pecynnu (B * H * T) | 483x635x676 | null | 480x268x700 |
Manteision Pwer Sputtering Magnetron Pwls Uchel EP50A80H
● Dibynadwyedd uchel
Mae EP50A80H yn darparu nodweddion ffilm mwy ardderchog o ran cysondeb ffilm, caledwch, gwrthsefyll gwisgo a gludiog.
● Technoleg atal arc ardderchog
Mae EP50A80H yn mabwysiadu technoleg atal arc ar gyfer PHP, felly gall defnyddwyr reoli ansawdd y ffilm yn gyfleus yn y broses o driniaeth arwyneb i gael gwell strwythur ffilm.
Gall EP50A80H ddisodli'r cyflenwad pŵer cyflymder magnetron presennol yn uniongyrchol. Yn hytrach na disodli'r deunyddiau catod a'r meysydd magnetig, dim ond defnyddwyr sy'n gorfod cyfnewid y system oeri.
● Cymhareb pŵer-i-gyfaint uchel
Mae cymhareb cyfaint pŵer uchel yn golygu bod integreiddio gosod offer yn haws i ddefnyddwyr.
Cais
Mae pwer uchel MF magnetron ffynhonnell bŵer yn cael ei ddefnyddio'n helaeth mewn meysydd ymchwil gwyddonol, gwyddonol ac amrywiol, plasma, gall gwrdd ag ystod eang o ofynion prosesau, yn arbennig mewn offer cotio gwactod.
