Dewis Math o Uned Gwactod
Jun 30, 2018| 1. Cyfansoddi a Dosbarthu Unedau Gwactod
Yn gyffredinol, mae'r uned wactod yn cynnwys y cydrannau canlynol: amrywiol pympiau gwactod, dyfeisiau mesur gwactod, falfiau gwactod, pibellau gwactod a rhai cydrannau eraill megis chwistrellwyr, cymalau gwactod, tanciau storio nwy, cloddiau, casglwyr llwch a chyfnewidyddion gwactod.
Yn ôl pwysau gweithio'r uned, mae unedau gwactod garw (> 1330Pa), unedau gwactod isel (1330 ~ 0.13Pa), unedau gwactod uchel (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), unedau gwactod uwch uchel (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) ac uned gwactod uchel iawn (<1.2 ×="" 10-11="">
2. Uned Gwactod Isel
Prif nodweddion yr uned wactod isel yw pwysau gwaith uchel a dadleoliad mawr, ond mae'r cyflymder pwmpio yn is na chyflwr yr uned wactod uchel. Fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer pwmpio garw o siambr gwactod a rhai unedau gwactod sydd angen pwysau gweithio uchel fel unedau rhyddhau gwactod, unedau gwagiau gwactod, unedau hidlo gwactod, unedau gwasgu gwactod, unedau sychu gwactod ac yn y blaen. Mae prif bympiau'r uned wactod isel yn gyffredin yn pympiau gwactod sy'n cyfnewid, pympiau gwactod sêl olew, pympiau jet dŵr, pympiau jet anwedd dŵr, pympiau cylchdroi dŵr, pympiau jet anwedd olew, pympiau assugno cribau moleciwlaidd a phympiau Gwreiddiau. Wrth ddefnyddio uned wactod isel, mae hefyd yn angenrheidiol i ffurfweddu cydrannau fel casglwr llwch a hidlydd sych yn unol â gofynion y broses o ran glendid a lleithder y nwy sydd i'w bwmpio.
3. Uned Gwactod Uchel
3.1 Dewiswch y prif bwmp. Gall y prif bwmp fod yn bwmp tryledol, pwmp moleciwlaidd, pwmp ïon sputter, pwmp titaniwm, pwmp cryogenig ac yn y blaen.
3.2 Dewiswch y pwmp cefnogol a'r bibell storio nwy (croyw, torri'r cylch gwaith, atal llawer o fentro yn y siambr wactod, a sefydlogi pwysedd y pwmp trylediad)
4. Uned Gwactod Ultra-Uchel
Mae gwactod pennaf y prif bwmp yn uchel, mae'r gyfradd gollwng yn isel, ac mae'n gwrthsefyll pobi ar 200-450 ° C.
4.1 Uned pwmp cludo: lleihau ôl-lif a llygredd rheoli.
4.2 Uned pwmp moleciwlaidd: Mae'r gymhareb cywasgu i hydrogen yn fach, a'r nwy gweddilliol yn hydrogen yn bennaf.
4.3 Uned pwmp ïon Sputter: Fe'i defnyddir fel arfer mewn cyfuniad â phwmp titaniwm.
4.4 Uned pwmp cryogenig: dim llygredd.