Y Prif Paramedrau sy'n Effeithio Y Sputtering
Jun 09, 2018| 1. Trothwy Sputtering
Nid yw isafswm gwerth ynni'r ïonau digwyddiadau sydd angen i atomau targed ysbwriel yn gysylltiedig â'r math o ïonau digwyddiad ond sy'n gysylltiedig â'r targed. Ar ôl i'r swm ynni fwy na'r trothwy, mae'r cynnyrch ysbwriel yn gymesur â sgwâr yr ynni ïon cyn 150 ev wrth i ynni'r ïon gynyddu, ac mae'r cynnyrch ysbwriel yn gymesur â'r ynni ïon yn yr ystod o 150 x 1 i. Yn yr ystod o 1kev ~ 10kev, mae'r cynnyrch ysbwriel yn newid ychydig. Pan gynyddwyd yr egni eto, roedd y cynnyrch ysbwriel yn dangos tuedd i lawr. Y canlynol yw trothwyon ysbeidiol nifer o fetelau wedi'u bomio â ïonau digwyddiadau gwahanol.
| Metal | Ion Sputtering threshod / eV | Sublimation Gwres / eV | |||
| Ne | Ar | Kr | Xe | ||
| Ti | 22 | 20 | 17 | 18 | 4.40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Zr | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Ag | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. Cynnyrch Sputtering
Mae cynnyrch ysbwriel yn cyfeirio at nifer gyfartalog yr atomau fesul ïon positif y gellir ei allyrru o'r targed pan fydd ïonau digwyddiad yn bomio'r targed. Mae'r ffactorau dylanwadu yn bennaf yn cynnwys yr agweddau canlynol:
◆ Mae'r cynnyrch ysbwriel yn dangos cyfnod o gyfnod penodol gyda newid rhif atomig y targed. Gyda chynnydd gradd llenwi electronig cragen yr atom targed, mae'r cynnyrch ysbwriel yn cynyddu (tueddiad sy'n newid yn fras).
◆ Effaith rhywogaethau ïon digwyddiad ar gynnyrch ysbwriel
Mae'r cynnyrch ysbwriel yn cynyddu o bryd i'w gilydd gyda nifer gynyddol o ddigwyddiadau atomig.
Y cynnyrch ysgubol o arian, copr a tantalwm sy'n cyfateb i amrywiaeth o ïonau digwyddiadau o 45Kev.
◆ Effaith ongl amledd ïon ar gynnyrch ysbwriel
Ar gyfer yr un targed a'r ïonau digwyddiad, mae'r cynnyrch ysbwriel yn cynyddu wrth i ongl digwyddiad yr ïon gynyddu. Pan fydd yr ongl yn cynyddu i 70 ° ~ 80 °, y cynnyrch ysbwriel yw'r mwyaf. Parhewch i gynyddu ongl yr achosion, mae'r cynnyrch ysbwriel yn cael ei leihau'n sydyn, ac mae'r cynnyrch ysbwriel 0 yn 900 °.
◆ Effaith tymheredd targed ar gynnyrch ysbwriel
Yn gyffredinol, mewn ystod tymheredd lle gellir ystyried cysylltiad agos â chynnyrch ysbwriel ag egni lledaenu, nid yw'r cynnyrch ysbwriel yn newid yn sylweddol gyda thymheredd. Os yw'r tymheredd yn fwy na'r amrediad hwn, mae'r cynnyrch ysbwriel yn dueddol o gynyddu'n gyflym.
