Dylanwad Paramedrau Proses Sputtering Magnetron: Matrics Tuedd Negyddol

Dylanwad paramedrau proses sputtering magnetron: gogwydd negyddol matrics

Mae'r gogwydd negyddol yn galluogi ïonau i beledu'r ffilm gynyddol o dan weithred maes trydan cyflymu. Gellir effeithio ar ficrostrwythur a phriodweddau mecanyddol haenau cwaternaidd (Cr, Ti, Al) N trwy newid egni a maint yr ïonau sy'n cyrraedd wyneb y swbstrad trwy addasu gogwydd negatif y swbstrad. Canfu'r ymchwilwyr fod grym rhwymo cotio (Cr, Ti, Al) N ar y swbstrad wedi cynyddu'n gyntaf ac yna'n gostwng gyda chynnydd tuedd negyddol y swbstrad. Y rheswm am hyn yw bod yr egni a ddarperir gan belediad ïon i'r ffilm yn cynyddu, gyda'r cynnydd mewn pwysedd negyddol, sy'n gwella athreiddedd yr atomau ffilm i wyneb y swbstrad, ac felly'n ffurfio grym rhwymol cryf rhwng y ffilm a'r swbstrad. Fodd bynnag, pan gynyddir y gogwydd negyddol ymhellach, bydd peledu ïonau ynni uchel ar y ffilm yn cynhyrchu straen gweddilliol mawr yn y cotio, a fydd yn gwanhau adlyniad y ffilm i'r matrics. Canfu'r ymchwilwyr hefyd fod tuedd negyddol yn effeithio'n bennaf ar wrthwynebiad gwisgo haenau (Cr, Ti, Al) N trwy newid y grym rhwymo sylfaen ffilm. Y gorau yw grym rhwymo sylfaen ffilm cotio (Cr, Ti, Al) N, y lleiaf yw'r gyfradd gwisgo a'r hiraf yw'r amser gwrthsefyll traul.

Cwmni IKS PVD, peiriant cotio addurniadol, peiriant cotio offer, peiriant cotio DLC, peiriant cotio optegol, llinell cotio gwactod PVD, mae'r prosiect troi-allweddol ar gael. Cysylltwch â ni nawr, E-bost: iks.pvd@foxmail.com