Cymharu Tuedd DC A Tuedd Pwls
Aug 14, 2024| Cymhariaeth o duedd DC a thuedd curiad y galon
Platio ïon arc traddodiadol yw cymhwyso gogwydd negyddol DC ar y swbstrad i reoli'r egni peledu ïon. Mae gan y broses ddyddodi hon yr anfanteision canlynol: 1. Nid yw tymheredd uchel y swbstrad yn ffafriol i adneuo ffilm galed ar y swbstrad gyda thymheredd tymheru isel. 2. 3. Mae peledu ïon ynni uchel yn achosi sputtering difrifol, ac ni ellir syntheseiddio ffilmiau caled ag egni trothwy adwaith uchel yn syml trwy gynyddu'r egni peledu ïon. 4. Yn y broses platio ïon arc gogwydd DC, i atal y tymheredd swbstrad gormodol a achosir gan beledu parhaus ïonau positif ar wyneb y swbstrad, mae mesurau megis lleihau'r pŵer dyddodiad, byrhau'r amser dyddodiad a mabwysiadu dulliau dyddodiad ysbeidiol yn cael eu mabwysiadu'n bennaf i leihau tymheredd y dyddodiad. Gellir crynhoi'r mesurau hyn fel dulliau rheoli ynni. Er y gall y dull hwn leihau'r tymheredd dyddodiad, mae hefyd yn lleihau rhai eiddo o'r ffilm a hefyd yn lleihau effeithlonrwydd cynhyrchu a sefydlogrwydd ansawdd y ffilm, felly mae'n anodd hyrwyddo'r cais. Yn y broses platio ïon arc arc rhagfarn pwls, oherwydd bod ïonau'n cael eu peledu gan wyneb y swbstrad mewn modd pwls di-dor, gellir newid y graddiant tymheredd rhwng yr is-haen a'r wyneb trwy addasu cylch dyletswydd y gogwydd pwls, ac yna'r gellir newid effaith iawndal cyfartalu gwres rhwng y swbstrad a'r wyneb i gyflawni pwrpas rheoleiddio tymheredd y dyddodiad. Yn y modd hwn, gellir gwahanu uchder y pwls rhagfarnllyd yn annibynnol oddi wrth dymheredd y gweithle (peidiwch ag effeithio ar ei gilydd neu heb fawr o ddylanwad), a gellir defnyddio'r pwls foltedd uchel i gael effaith bomio ïonau ynni uchel i wella'r trefniadaeth a pherfformiad y ffilm, a gellir lleihau cyfanswm effaith wresogi peledu ïon trwy leihau'r cylch dyletswydd i leihau'r tymheredd dyddodiad.
Cwmni IKS PVD, peiriant cotio addurniadol, peiriant cotio offer, peiriant cotio DLC, peiriant cotio optegol, llinell cotio gwactod PVD, mae'r prosiect troi-allweddol ar gael. Cysylltwch â ni nawr, E-bost: iks.pvd@foxmail.com