Cyflwyniad Byr o System Sputtering Gorchuddio PVD A System Rheoli

System Sputtering

Y system sputtering yw craidd cotio PVD, sy'n cynnwys targedau , cyflenwad pŵer targed a nwy arbennig. Mae sawl math o gyflenwad pŵer targed ac maent yn dod mewn sawl math fel isod:

1. Yn ôl y modd allbwn , mae cyflenwad pŵer DC , cyflenwad pŵer AC (ton sine, ton sgwâr), cyflenwad pŵer pwls a chyflenwad pŵer pwls ardystiedig DC ;

2. Yn ôl yr amlder allbwn , mae cyflenwad pŵer DC , cyflenwad pŵer amledd isel a chyflenwad pŵer amledd canolig ;

3. Yn ôl y pŵer , mae cyflenwad pŵer isel, cyflenwad pŵer canolig, cyflenwad pŵer uchel a chyflenwad pŵer uwch;

4. Yn ôl y dull rheoli , mae cyflenwad pŵer cyfredol cyson, cyflenwad pŵer foltedd cyson a chyflenwad pŵer cyson.

System Rheoli

System reoli yw enaid y ddyfais gyfan, mae'n rheoli gweithrediad y system gyfan. Mae'r system reoli yn cynnwys system weithredu meddalwedd, system gaffael data, system dadansoddi data a system drosglwyddo gweithredol ac yn y blaen. Ymhlith y rhain, mae'r system casglu data yn casglu, llif (steam), pwysedd gwactod, cyflymder modur, sefyllfa falf a gwybodaeth arall. Ar wahân, mae system weithredu Meddalwedd a system dadansoddi data yn PLC dan y mwyafrif o amgylchiadau. Ar ben hynny, mae'r system drosglwyddo gweithredol yn cynnwys cyfnewidfeydd amrywiol, cyswlltwyr, falfiau solenoid, switshis, ac ati.