Tuedd Cyflenwad Pŵer

Tuedd cyflenwad pŵer

Defnyddir y cyflenwad pŵer bias mewn technoleg cotio ïon aml-arc a magnetron sputtering. Dim ond oherwydd bod cyfradd ionization sputtering magnetron yn llawer is na chyfradd platio ïon aml-arc, mae pŵer y cyflenwad pŵer rhagfarn gofynnol yn llai. Ar hyn o bryd, mae gan lawer o ddyfeisiadau dargedau sputtering magnetron a thargedau aml-arc, a dylai'r dewis o ragfarn pŵer cyflenwad pŵer gael ei bennu gan ofynion gweithrediad aml-uned. Roedd y foltedd tuedd cynnar yn bennaf cyflenwad pŵer gogwydd DC gyda thechnoleg thyristor, ac yn awr mae'n bennaf cyflenwad pŵer unipolar, DC pwls arosodedig a gogwydd pwls deubegwn a weithgynhyrchir gan dechnoleg gwrthdröydd amledd uchel. Defnyddir y cyflenwad pŵer gogwydd yn bennaf ar gyfer glanhau tywynnu yn y broses o ïon aml-arc a gorchudd sputtering magnetron, peledu ïon a dyddodiad ffilm i roi pwysau gogwyddo ar y darn gwaith ar blatiau a chynhyrchu llewyrch yn ystod glanhau glow. Yn y peledu ïon a ddefnyddir i gyflymu ïonau, gwella egni peledu ïon i wyneb y darn gwaith, er mwyn cyflawni pwrpas effaith glanhau sputtering a gwella'r grym rhwymo ffilm, mewn dyddodiad ffilm, fe'i defnyddir hefyd i gynyddu'r egni ïon , hyrwyddo a gwella'r twf ffilm, bydd hefyd yn gwella'r grym rhwymo ffilm, mae'r canlynol yn sawl tonffurf cyffredin o'r cyflenwad pŵer tuedd: prif nodweddion cyflenwad pŵer tuedd pwls unipolar 1. Amledd uchel unipolar pwysau gogwydd curiad y galon ar y workpiece, o'i gymharu â DC gogwydd, oherwydd y bwlch ymyrraeth foltedd, gall effeithiol leihau nifer y tanio, amddiffyn wyneb y workpiece. 2. Yn ystod y bwlch pwls, gall y tâl cronedig ar wyneb y workpiece yn cael ei niwtraleiddio, a thrwy hynny leihau'r tanio a achosir gan y casgliad o dâl arwyneb. 3. Gall gallu diffodd cyflym technoleg gwrthdröydd amledd uchel leihau'r egni a ryddheir gan bob gwreichionen yn effeithiol, hyd yn oed pan fydd y wreichionen yn ymddangos, gall leihau'n sylweddol faint o ddifrod mawr i wyneb y darn gwaith. 4. Mae'r ynni ïon a adneuwyd i wyneb y workpiece yn ystod y bwlch pwls yn isel iawn. 5. Gellir gwella a rheoli cyflymder ac ansawdd ffurfio'r ffilm trwy addasu'r amlder a'r cylch dyletswydd. Prif nodweddion cyflenwad pŵer gogwydd pwls arosodedig DC 1. Mae ganddo holl nodweddion cyflenwad pŵer tuedd curiad y galon unipolar. 2. Yn y modd pwls arosodedig DC a DC, mae'r broblem o ynni ïon isel rhwng bylchau pwls unbegynol yn cael ei ddileu. Mae swyddogaeth y pwls negyddol yr un peth â swyddogaeth y cyflenwad pŵer tuedd curiad y galon unipolar, a swyddogaeth y pwls positif yn bennaf yw denu electronau yn y plasma i niwtraleiddio'r cronni gwefr bositif ar wyneb y darn gwaith. Oherwydd bod màs yr electron yn llawer llai na màs yr ïon, mae cyflymiad yn hawdd, felly mae osgled y pwls positif yn llawer llai nag osgled y pwls negyddol, fel arfer 10 ~ 100V, ac mae'r rhan annatod presennol o'r positif a'r negyddol dylai corbys fod yn gyfartal. Felly mae pŵer y cyflenwad pŵer cadarnhaol yn llawer llai na phŵer y cyflenwad pŵer negyddol. 2. Pan fo'r foltedd cyflenwad positif yn sero, mae'r gogwydd pwls deubegwn yn dod yn rhagfarn pwls unipolar.

Cwmni IKS PVD, peiriant cotio addurniadol, peiriant cotio offer, peiriant cotio DLC, peiriant cotio optegol, llinell cotio gwactod PVD, mae'r prosiect troi-allweddol ar gael. Cysylltwch â ni nawr, E-bost: iks.pvd@foxmail.com