Ynglŷn â Phroblemau a Gyfrifwyd yn Magnetron Sputtering, Cynhwysfawr Iawn!

Ynglŷn â phroblemau a gafodd eu hwynebu yn magnetron sputtering, cynhwysfawr iawn!

IKS PVD, Sofietaidd eich holl broblem peiriant cotio PVD, cysylltwch â ni nawr, iks.pvd @ foxmail.com

1. Problemau rhithro a chloddio magnetig magnetig o darged magnetig

a. Gwella maes magnetig Bn 300-700g

b. Lleihau'r deunydd targed o drwch 2-3mm

c. Cynyddu pwysau gweithio

d. Tynnwch faw'r wyneb targed

2. Gostwng garw'r wyneb

a. triniaeth wres

b. paramedrau proses rheoli

c. sgleinio mecanyddol

d. sgleinio cemegol

e. sgleinio electrocemegol

f. y haen isaf yn plating trwy gyfnod hylif

g. Chwistrellu haen isaf organig

3. Gludiad ffilm

a. glanhau

b. sychu

c. glanhau plasma

d. haen drawsnewid

4. Mae cyflymder dyddodi ysbwriel yn araf

a. Ysbwriel adweithiol: dod o hyd i bwynt critigol y gromlin hysteresis, yn codi'r gyfradd adneuo a gwella ansawdd y ffilm;

b. Ysbwriel RF: pŵer cynyddol a phwysau aer is (ee 7.5mt)

5. Gall cyflwyno acetylene arwain at ffenomenau anwastad yn y broses o fagu ymateb, gan arwain at wahaniaethau yn ansawdd y ffilm a adneuwyd ar y swbstrad, gan adlewyrchu stribedi lliw (rheolaidd) .

6. Cyfarwyddiadau ar gyfer crwydro amser hir

a. System oeri

b. Shield

c. Cyflenwad pŵer arllwysiad arc swyddogaeth

d. Gwrthiant tymheredd uchel plât leinin

7. Dylanwad paramedrau ysbwriel magnetron

a. Mae pethau eraill yn gyfartal, mae dylanwad dwysedd pŵer ac amser ar drwch ffilm oddeutu cymesur. Mae cynnydd y pŵer yn fuddiol i gynyddu dwysedd a chrisialu'r ffilm. Mae cynnydd neu ostyngiad amser yn effeithio ar gynnydd tymheredd yr is-haen a thrwch y ffilm, ac yn anuniongyrchol yn effeithio ar y crisial

b. Unffurfiaeth: unffurfiaeth optegol, unffurfiaeth trydanol ac unffurfiaeth trwch ffilm.

c. Sbectromedr, profwr trwch ffilm pedwar-chwiliad.

d. DC: potensial sefydlog, deunyddiau targed dargludol confensiynol megis metel a ITO, cyfradd adneuo sefydlog yn uchel

e. RF: osciliad amledd uchel, a ddefnyddir yn gyffredin yn 13.56mhz, a ddefnyddir ar gyfer inswleiddio (SiO2, AL2O3), lled-ddargludyddion, deunyddiau metel, ffilm trwchus, cyfradd adneuo isel.

8. Ymbelydredd o gyflenwad pŵer magnetron

a. mae pelydriad pŵer yn bodoli, yn enwedig pŵer RF

b. Awgrymodd y dylid dewis pŵer mewnforio (AE ac ati), roedd pŵer RF Domestig yn adlewyrchu pŵer 2%, gellir rheoli pŵer mewnforio o dan 1 w.

c. Rhaid blygu bocs gêm pŵer a chadod rhwng atodiad

d. mae'r broses gyfatebol pŵer gollwng ymbelydredd uchaf, oherwydd y gêm pwer adlewyrchol uchel ddim yn iawn, yn golygu bod y adlewyrchiad uwch

e. i baratoi beichiogrwydd a beichiogrwydd, cadwch ymaith o amledd radio

9. Canfod mannau du mewn ffilm ocsid oherwydd hypoxia

a . Mae'r RF ysbwriel ocsidau yn gyffredinol ardderchog, ac mae rhai elfennau ocsigen ar goll yn yr haen ffilm;

b. Gellir gwasgu 10% o ocsigen i wella

c. Sylwch ar y rhedfa wedi'i heschipio. Os yw'r rhedfa wedi'i heschipio mor dywyll â lliw y corff, gellir dileu'r broblem hon . Os yw'r rhedfa wedi'i heschodi'n llawer tywyll na'r corff, dyma'r diffyg ocsigen.

10. Roedd cynnyrch ysgubol Al yn is na Cu a Gr

A. cynnyrch sputtering sy'n effeithio ar ffactorau: ynni'r ŵyl digwyddiad a gall ddianc y bondio atomig

b. ysbwriel: natur yr effaith a dianc

c. effaith: y mwyaf y momentwm - yr uchaf yw'r cynnyrch, mae'r diwydiant yn gyffredinol yn defnyddio Ar (cost a chynhwysiad rhychwantu)

d. dianc: atomau Al bach ac allan o dair electron, mae adlyniad yn gynnyrch cryf, isel

e. mae gwahanol gyfraniad ysbwriel yn nodwedd reolaidd yn y tabl cyfnodol

11. Dwysedd pŵer uchafswm targed sputtering dc magnetron

a. Dylanwadu ar ffactorau: oeri, deunydd targed, strwythur y targed

b. enghraifft: ceramig / Si 5-8 w / c ㎡ targed metel 20-40 w / c ㎡

12. Gorchudd plastig

A. problemau presennol

a. amsugno dŵr mawr, rhyddhau aer mawr

b. gwahaniaeth mawr, heb fod yn bolar, gyda chyfernod ehangu thermol ffilm

c. roughness mawr a gwrthsefyll gwres gwael

B. Rhybuddiadau

detholiad Cyflwyno: garw isel, llai o ryddhau aer

b. Cynyddodd y gwactod proses, gostyngodd tymheredd y broses

c. Esgyrniad wyneb, peintio cotio fel UV cotio organig, glanhau plasma

Ychwanegu haen drawsnewid

13. Cronynnau bach ar wyneb y darn

a. broblem glanhau

b. llwch ceudod

c. anhwylderau targed

d. cyfathrebiad cyflenwad pŵer, gan ddechrau ARC

e. gall fod yn ocsidiad anghyflawn ar gyfer ysbwriel adweithiol

14. Mesur trwch ffilm

a. Melin Ball

b. Cam

c. Trawsdoriad microsgop metallograffig

d. SEM

e. mesuriad trwch nondestructive xry

15. Targedu gwenwyno

A. Y prif reswm dros wenwyno targed yw bod cyflymder synthesis y cyfrwng yn fwy na'r cynnyrch ysbwriel (gormod o nwyon adwaith ocsigen yn mynd heibio), gan arwain at golli gallu dargludol targed y dargludydd. Dim ond trwy gynyddu'r foltedd chwalu, y gellir creu sbardun. Phenomenon: ni all y foltedd targed gyrraedd arferol ers amser maith, ac mae'r targed ysbwriel bob amser mewn cyflwr gweithrediad foltedd isel, ynghyd â rhyddhau arc; Mae'r arwyneb targed yn ymddangos fel gosodiadau gwyn neu olion lledaeniad llwydni nodwydd trwchus

B. Er mwyn dileu gwenwyno targed yn llwyr, rhaid defnyddio cyflenwad pŵer amlder canolraddol neu gyflenwad pŵer rf yn lle cyflenwad pŵer dc; Gall dulliau fel lleihau fflwcs nwy adweithiol, gan gynyddu'r pŵer ysbwriel, glanhau'r llygryddion (yn enwedig staeniau olew) ar y deunydd targed, a dethol y mwgwd diddymu arc â phosibl gyda pherfformiad gwactod da yn effeithiol rhag atal gwenwyno targed. Mae staeniau'r magnet sydd wedi'i brynu mewn dŵr oeri y tu mewn i'r targed. Cyn belled â bod cryfder y maes magnetig yn ddigon ac mae'r effaith oeri yn dda, nid oes fawr o ddylanwad ar y targed

C. Ychydig iawn o effaith sydd gan y staen ~ mae'r tân yn cael ei achosi gan y rhan inswleiddio, fel arfer gwenwyno lleol neu nwyddau wedi'u dwyn. Gwenwynir targed sbwriel oherwydd bod y dwysedd pŵer yn rhy isel ac ni ellir anweddu gormodedd y nwy adweithiol (neu ysgogi) mewn pryd, a fydd yn gadael wyneb y targed a lleihau'r dargludedd trydanol, gan fynd i mewn i'r wladwriaeth wenwynig. Ni all ysgafn glowio, cyflenwad pŵer wedi'i dorri'n drwm.

16. Targedau cyffredin

Targed M etal: Ni , Ti, Zn, Cr, Mg, Nb, Sn, Al, Yn, Fe, ZrAl, TiAl, Zr, AlSi, Si, Cu, Ta, Ge,

Ag, Co, Au, Gd, La, Y, Ce, W, Dur Di-staen, NiCr, Hf, Mo, FeNi, ac ati.

Targed ceramig: targed ITO, targed ferric ocsid, targed magnesiwm ocsid, targed, targed, silicon carbid silicon nitride titaniwm targed targed, targed, sylffid sinc, ocsid sinc, cromiwm ocsid a tharged targed silicon deuocsid, targed ocsid silicon, cerium ocsid , targed syrciowm deuocsid, targed targed niobium pentoxid, targed, titaniwm deuocsid, syrconiwm deuocsid, targed hafniwm, targed, targed zirconiwm dibwrid diborid diborid, targed, targed tri-ocsid twngsten pentoxid 3 ocsidiad 2 alwminiwm, targed targed targed niobium, targed, fflworid yttriwm , fflworid magnesiwm, targed selenid sinc, targed, targed nitride nitride nitride nitride, targed, targed nitrid titaniwm nitroid, targed carbid silicon, targed, asid titaniwm targed lithium niobate praseodymium titanate lanthanum, targed titanate bariwm, targed, targed nicel ocsid, ac ati .