Problem Unffurfiaeth Ffilm Sputtering Magnetron

Mae unffurfiaeth y ffilm fagnetig yn fynegai pwysig, felly mae angen astudio'r ffactorau dylanwadol sy'n effeithio ar unffurfiaeth y crafennau magnetron er mwyn cyflawni haenau unffurf yn well. Yn syml, mae ysbwriel magnetron yn cyfeirio at yr electronau hynny sy'n gwneud cynnig troellog o gwmpas yr arwyneb targed dan gyfyngiad y cae magnetig caeedig mewn maes electromagnetig orthogonal. Yn ystod y cynnig, mae electronau yn cadw'r nwy sy'n gweithio (nwy argon) yn taro i mewn i lawer iawn o ïonau argon. O dan y maes trydan, mae'r ïonau argon yn bomio'r bwlch yn gyflym, ac mae'r ïonau atigig targed (neu'r moleciwlau) yn rhoi blaendal ar y swbstrad i ffurfio ffilm denau.

Felly, er mwyn sicrhau cotio unffurf, mae angen gwthio'r unedau ïon atom (neu foleciwlau) yn unffurf, sy'n ei gwneud yn ofynnol i'r ïonau argon bomio'r targed yn unffurf. Gan fod yr ïonau argon yn cyflymu'r bomio o'r targed dan weithrediad y maes trydan, mae'n ofynnol i'r maes trydan fod yn unffurf. Mae'r ïonau argon yn deillio o'r electronau sydd wedi'u rhwymo gan y cae magnetig caeëdig, ac mae'r electronau yn cael eu taro'n gyson yn ystod y symudiad, sy'n gofyn am faes magnetig unffurf a dosbarthiad argon unffurf. Fodd bynnag, mewn dyfeisiadau ysbwriel magnetron gwirioneddol, mae'r ffactorau hyn yn anodd i fod yn hollol wisg, ac mae angen astudio effaith eu anwastadrwydd ar unffurfiaeth ffurfio ffilmiau. Mewn gwirionedd, unffurfiaeth y maes magnetig ac unffurfiaeth y nwy sy'n gweithio yw'r ffactorau pwysicaf sy'n effeithio ar unffurfiaeth ffurfio ffilmiau. Mae maes magnetig mawr yn golygu trwch ffilm mawr, ac mae cyfeiriad y maes magnetig hefyd yn ffactor pwysig sy'n effeithio ar yr unffurfiaeth. O ran pwysedd aer, o dan bwysau penodol, mae gan y ffilm â phwysedd aer mawr drwch fawr.