Broses dechnegol technoleg gorchuddio wyneb Carbon fel diemwnt (DLC)

Technoleg araen DLC (carbon diemwnt-debyg) yn cymhwyso ym maes offer torri marw technoleg proffesiynol. Dechreuodd cynhyrchiant diwydiannol araen DLC ar ddiwedd yr 20fed ganrif, o gymharu â haenau anodd cymhwyso i'r Wyddgrug (megis tun, TiAlN, CrN, TiCN, etc.), mae'n dechnoleg araen newydd. Mewn deunydd pacio lled-ddargludyddion, pin torri a ffurfio broses, yr Wyddgrug manylder uchel yw'r allwedd i sicrhau ansawdd y cynnyrch, ac mae ansawdd wyneb yr Wyddgrug hefyd yn pennu ansawdd y cynnyrch, effeithlonrwydd cynhyrchu a perfformiad cynnyrch trydanol. Felly, mae cymhwyso at y diwydiant lled-ddargludyddion pecynnu mowld yn ei gwneud yn ofynnol nid yn unig manylder uchel, ond hefyd ddatblygu rhannau ymyl marw i'r wyneb gyda ffactor ffrithiant isel ac uchel caledwch, a orchuddiwyd â phlasma DLC araen technoleg y Prif ateb i broblem hon.

Y broses driniaeth DLC cynnwys swbstrad prosesu (sgleinio, glanhau) o workpiece i gael ei brosesu, dewis y targed, gosod amodau broses ffurfio, ffurfio a ôl-ffurfio arolygiad.

I gael araen DLC ansawdd uchel, mae ansawdd y swbstrad workpiece yn bwysig iawn. Dylai lathru y workpiece i lai na Ra0.2um, ac ar ôl yr araen, gall y workpiece gael ansawdd wyneb boddhaol, sy'n bwysig iawn ar gyfer ffurfio rhai rhannau â gofynion perfformiad optegol.

Mae angen ei lanhau yn llawn workpiece sydd i'w araenu, ac mae'r broses lanhau yn dibynnu ar ansawdd yr araen, y swbstrad a ffurf geometrig. Yn y workpiece wedi'i osod ar gêm gosod, sydd wedi'i gynllunio ar sail optimizing maint llwytho ceudod a sicrhau unffurfiaeth yr araen. Yn y Siambr gwactod gwacáu i 10-6 Torr (gwactod uchel) i ddileu pob llygryn yn y system, ac mae nwy anadweithiol hychwanegu i mewn i'r Siambr gwactod a ionizes, cynhyrchu Wawr rhyddhau (plasma). Hwn yw'r nwy glanhau cam a paratoi'r rhan dyddodion metel cychwynnol.

Caiff tylciau uchel-presennol, foltedd isel eu llwytho ar y targed, y metel yn vaporized a ionized syth, ac mae ïonau metel hyn, nodwch y Siambr drwy nwy anadweithiol neu nwy adweithiol o dan ynni uchel a byrbwyll wedyn ar y workpiece. Yn y broses dyddodi, bydd newid cyfaint neu math o nwy newid eiddo y ffilm. Mae Tabl 1 yn dangos y paramedrau broses a ddefnyddir ar gyfer ffilm gwahanol haenau.

Ar ôl cwblhau'r yr araen, mae ansawdd y ffilm ar ôl ffurfio y workpiece angen ei fesur, gan gynnwys y sglein y workpiece, a yw trwch y ffilm yn unffurf ac mae hyn o fewn yr ystod rheolaeth, ac a yw ffilm haenog.

Os y sglein y ffilm ar ôl ffurfio yn anwastad ac mae patrwm, mae'n bosibl nad purdeb y targed yn ddigon ac yn cynnwys amhureddau mwy. Posibilrwydd arall yw Mae offer araen yn broblem, ac nid oes unrhyw broses Sefydlog yr amgylchedd. Yn yr achos hwn, y peth cyntaf yw gwirio a Mae offer y broblem, os nad, rhaid disodli y targed. Pan fydd y cyfarpar yn sefydlog, mae trwch y ffilm yn dibynnu ar yr amser broses ffurfio.

Y broblem fwyaf cyffredin ac yn anodd i'w datrys yn glynu'n rhwng y ffilm a'r y workpiece nid yn gryf, a ddadlaminadu ffenomen yn digwydd. Ceir llawer o resymau am y broblem. Y prif reswm yw bod yn y workpiece heb eu glanhau'n lân ac yn drylwyr, ac nid yw y workpiece lathru i ofynion y broses neu ceir diffygion, ac nad ydynt y paramedrau broses ffurfio rhesymol. Er mwyn datrys y broblem o ddadlaminadu rhwng y swbstrad ac yn y ffilm, yn angenrheidiol weithiau i cyn-drin y workpiece gan araenu sydd workpiece â haen o fetel ymlaen llaw i gael gwared ar ddiffyg y swbstrad.

Paramedrau math a'r broses o haen ffilm