Egwyddor gweithio PECVD - Tube P
Apr 19, 2024| PECVD Egwyddor gweithio - Tube P
Mae'r system PECVD tiwbaidd yn gyfres o eneraduron sy'n defnyddio cychod cotio plât cyfochrog a chynhyrfwyr plasma amledd isel. Ar dymheredd isel ac uchel, mae'r generadur plasma yn adweithio'n uniongyrchol yn y cyfrwng sydd wedi'i osod yng nghanol y plât wedi'i orchuddio.
Manteision: Yn y broses dyddodi, ynghyd â chynhyrchu nifer fawr o atomau hydrogen ac ïonau hydrogen, mae eiddo goddefiad hydrogen y wafer silicon yn dda iawn, a gellir newid y gymhareb silane i amonia i gael mynegeion plygiannol gwahanol.
Cwmni IKS PVD, peiriant cotio addurniadol, peiriant cotio offer, peiriant cotio DLC, peiriant cotio optegol, llinell cotio gwactod PVD, mae'r prosiect troi-allweddol ar gael. Cysylltwch â ni nawr, E-bost: iks.pvd@foxmail.com