Sut mae PECVD yn gweithio
Apr 17, 2024| Sut mae PECVD yn gweithio
Defnyddir dull PECVD i dyfu ffilmiau tenau silicon nitrid gan ddefnyddio nodweddion plasma di-ecwilibriwm, hynny yw, mae moleciwlau plasma, atomau, ïonau neu grwpiau gweithredol yr un fath â'r amgylchedd cyfagos, ac electronau nad ydynt yn ecwilibriwm oherwydd eu màs bach, gall eu tymheredd cyfartalog fod yn ddau orchymyn maint yn fwy na gronynnau eraill, felly o dan amodau arferol, mae angen tymheredd uchel (300 gradd C -450 gradd C) i gyflawni llawer o adweithiau. Yn ystod y broses dyddodi, mae gan y moleciwlau nwy arbennig NH3 a SiH4 symudiad thermol dwys o dan weithred amledd uchel ac maent yn gwrthdaro â'i gilydd i ïoneiddio eu moleciwlau ac yna'n cynhyrchu SiNx.
Cwmni IKS PVD, peiriant cotio addurniadol, peiriant cotio offer, peiriant cotio DLC, peiriant cotio optegol, llinell cotio gwactod PVD, mae'r prosiect troi-allweddol ar gael. Cysylltwch â ni nawr, E-bost: iks.pvd@foxmail.com