Deunyddiau a Dulliau Arbrofol i Effeithio Ffynhonnell Ardd Cyfredol Ar Ffilm Tin
Jun 22, 2018| Yn y papur hwn, adneuwyd ffilmiau tenau TiN ar is-haen dur di-staen a Si wafer gan beiriant cotio ïon aml-arc. Astudiwyd effaith ffynhonnell arc cyfredol ar strwythur ac eiddo tribolegol ffilmiau tenau TiN o egwyddor platio ïon aml-arc.
Deunyddiau a dulliau arbrofol
Mae deunydd y swbstrad yn ddur di-staen (1Cr18Ni9Ti) o 20 mm × 20 mm × 2 mm, gyda chwistrelli Si. Perfformiwyd paratoi'r ffilm ar beiriant cotio ïon aml-arc. Roedd y sampl wedi'i gywiro'n fecanyddol, wedi'i golchi'n alcali, wedi'i lanhau'n ultrasonegol mewn alcohol, ac yn olaf wedi'i sychu'n llawn i siambr gorchudd lân. Cyn y broses orchuddio, glanhawyd yr is-haen gan Ar + ysgythru am 5 munud. Roedd cyfradd llif nwy argon yn ystod y cotio yn sero, a chyfradd llif sefydlog N2 oedd 0.22 SLM / s. Rhestrir y paramedrau proses penodol yn Nhabl 1.
Tabl 1. Paramedrau proses adneuo ffilm TiN
| Ffynhonnell Arc Cyfredol (A) | Pwysedd (x10 -1 Pa) | Tymheredd Sudstrate (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Arsylwyd ar morffoleg wyneb a morffoleg wyneb torri'r ffilm gan microsgopeg electron sganio allyriadau maes (FE-SEM). Cafodd caledwch y ffilm TiN ei fesur gyda phrawf microhardod gyda'r llwyth yn 25 g ac mae'r amser llwytho yn 10 s. Mesurwyd cyfernod ffrithiant y ffilm trwy ddyfais labordy hunan-addasu. Mae'r sampl ffilm TiN wedi'i gyfuno â dur A3 i ffurfio pâr o barau ffrithiant. Yn ystod y prawf, mae'r sampl uchaf yn sefydlog, mae'r disg dur A3 yn cylchdroi mewn ffrithiant sych, y cyflymder cylchdrool yw 0.87rev / min, ac mae'r llwyth arbrofol yn 1N.