Effaith Ffynhonnell Arc Cyfredol Ar Gyferffiff Ffracsiwn Of Tin Films

Bydd lleihau'r cyfernod ffrithiant o'r ffilm yn helpu i gynyddu ei wrthsefyll gwisgo, a all ymestyn oes gwasanaeth y gweithle. O'r canlyniadau uchod, a gallwn weld y ffynhonnell arc bresennol yn dylanwadu'n fawr ar ansawdd y ffilm, ac felly mae ganddi ddylanwad pwysig ar y cyfernod ffrithiant.

Mae Ffigur 1 yn dangos nodweddion cwmpasol y ffilm a'r berthynas rhwng y ffynhonnell arc bresennol a'r cyfernod ffrithiant. Fel y dangosir yn y ffigwr, mae cyfernod ffrithiant y ffilm yn cynyddu'n raddol wrth i'r ffynhonnell arc gynyddu. Ar gorsydd uchel, mae gan y targed ffynhonnell arc tymheredd uwch, gan arwain at fwy o gronynnau a chlystyrau macrosgopig, ac mae'r gronynnau neu'r clystyrau hyn yn gludo ynni uwch ac ni chaiff gronynnau eraill eu rhwystro'n hawdd yn ystod yr ymfudo o'r targed ffynhonnell arc i'r is-haen ( sampl). Mae'r tymheredd yn uchel pan fyddant yn cyrraedd arwyneb y swbstrad (sampl), felly mae'r trylediad ar yr wyneb yn gyflym, ac mae cyfradd dyddodiad y ffilm yn gyflym hefyd. Mae presenoldeb y gronynnau mawr hyn yn arwain at wyneb garw yr arwyneb ffilm gorchudd derfynol gan fod y gronynnau yn fawr o ran maint a maint. Felly, o dan yr un amodau, mae cyfernod ffrithiant y ffilm TiN-plated uchel yn fwy na ffilm y plaen fach-plated.

a) I = 40A; b) I = 70A; c) I = 80A; d) I = 90A; e) swbstrad dur di-staen wedi'i sgleinio; f) perthynas rhwng ffynhonnell arc cyfernod ffrithiant cyfredol a ffilm

Ffigur 1 Cylchdroi nodweddion ffrithiannol ffilmiau wedi'u gorchuddio â cherryntiau gwahanol ffynonellau arc a steiliau cyflym uchel

O gromlin nodwedd dribynnol y ffilm, gellir gweld pan fydd ffynhonnell arc presennol 40A, mae grym ffrithiant ffilm TiN yn isel, ond pan fydd ffynhonnell arc yn cynyddu, mae ansawdd yr arwyneb yn lleihau oherwydd y cynnydd o droplets, a grym ffrithiant yn cynyddu. Ar y dechrau, oherwydd dirgryniad, mae rhai cromlin yn amrywio, ond mae'n sefydlogi yn raddol gydag amser yn pasio.

Wrth gymharu'r cromlinau ffrithiant o ffilmiau wedi'u gorchuddio â 40 A o ffynhonnell arc cyfredol a chromliniau ffrithiant dur cyflym wedi'i sgleinio, gellir gweld bod grym ffrithiant y ffilm yn is na dur dur cyflym sgleiniog, mae wyneb ffilm tenau TiN a adneuwyd o dan gyfyngiadau isel yn fach o ran maint a maint, mae'r garw yn isel. Gyda chynnydd yn y presennol, mae ffrithiant y ffilm TiN wedi'i orchuddio yn cynyddu'n gyfatebol, sy'n golygu bod ansawdd wyneb y ffilm denau wedi'i gorchuddio â dirywiad mawr ar hyn o bryd. Yn ychwanegol at hyn, gall y cromliniau hyn adlewyrchu'r gwahaniaeth yn y newid dros y gromlin o'r parth ansefydlog cychwynnol i'r parth sefydlog. Pan fyddaf yn = 40 A, mae'r parth trosglwyddo yn fyr iawn. Mae cromlin pontio dur cyflym wedi'i sgleinio'n fflat ac yn llyfn. Wrth i'r cynnydd presennol, mae'r gromlin yn y rhanbarth trosglwyddo hefyd yn raddol yn dod yn sydyn, sydd, fel y trafodwyd uchod, yn effaith gronynnau droplet ar wyneb y ffilm.

Mae rhai rheolau ar gyfer y newidiadau yn y gromlin nodwedd ffrithiant. Ar y dechrau, mae wyneb y ffilm yn destun grym sydyn, ac mae'r effaith yn effeithio ar y gronynnau droplet. Gan nad yw'r gronynnau hyn yn glynu wrth wyneb y ffilm, maent yn cael eu tynnu'n hawdd, ac mae'r ffrithiant yn gymharol fach. Wedyn, mae'r grym ffrithro'n rhyngweithio â'r gronynnau trwythog mawr a gladdwyd yn ddwfn y tu mewn i'r ffilm, ni chaiff y gronynnau trwytho hyn eu tynnu'n hawdd, felly mae'r ffrithiant yn codi'n sydyn ac yna'n sefydlogi. Mae'r ffrwythau a gladdir yn ddwfn yn y ffilm yn gysylltiedig â'r ffynhonnell arc bresennol. Os yw'r ffynhonnell arc bresennol yn fach, mae'r fwydydd yn fach o ran maint a maint, felly mae'r fwydydd a gladdir yn y ffilm yn fach hefyd, ac mae gan y ffilm rym ffrithiant bach. Wrth i'r ffynhonnell arc gynyddu ar hyn o bryd, mae'r gwenithod hefyd yn cynyddu ac yn dod yn fwy, felly mae'r grym ffrithiant yn cynyddu.