Cyflwyniad byr y tueddiad

Tuedd negyddol

Darparu ynni gronynnau;

Effaith gwresogi ar is-haen;

Gall diddymu'r nwy ac olew a suddwyd ar yr is-haen wella cryfder bondio'r haen ffilm.

Arwyneb matrics wedi'i weithredu;

Mae'r Arc Ion Plating y gronynnau mawr yn cael effaith puro;

Dosbarthu rhagfarn

Yn ôl y tonffurf, gellir ei rannu yn:

Diasg

Pwysedd pwls D

Pwysedd pwls stack Dc

Biasedd pwls deubegwn

Newid y foltedd uchel / foltedd isel pan ddefnyddir y pŵer

Mae angen i lawer o gyflenwadau pŵer rhagfarnu newid rhwng foltedd uchel a isel yn y gwaith, defnyddir offer pwysedd uchel ar gyfer bomio a glanhau, ac mae offer pwysedd isel yn cael ei ddefnyddio ar gyfer adneuo ffilm. Disgrifir y siart cydlynu allbwn o'r ddau fath o gyflenwad pŵer isod:

Mae angen newid diagram allbwn pŵer o foltedd uchel (HV) a foltedd isel (LV)

Nid oes angen i chi newid allbwn addasu di-dor gêr uchel - isel

Paramedr addasadwy o gyflenwad pŵer rhagfarn

Amlder rhagfarn

Cymhareb ddyletswydd

amlder

tonffurf

Nodweddion pwysig cyflenwad pŵer rhagfarn

Nifer y diffoddwyr cwympo fesul munud (mewn unedau diffoddwyr tynnu bob munud)

Sensitifrwydd i ganfod arc mawr (ynni arc y gellir ei ddarganfod mJ / kW)

Llwythwch nodweddion tuedd

Y llwyth o ragfarn yw plasma. Pan ddefnyddir duedd dc, mae'r plasma yn dangos ymwrthedd. Pan fydd y rhagfynegiad pwls yn cael ei gymhwyso, mae'r plasma yn arddangos gwrthiant + gallu, y gellir ei ystyried fel cysylltiad cyfres o ymwrthedd a chynhwysedd. Mae natur y cynhyrchiad gallu yn cael ei achosi gan y gwead plasma ar wyneb y swbstrad.

Cymhariaeth o ragfarn a rhagfarn y pwls

Pyllau ďon arc confensiynol yw rheoli ynni bomio ïon trwy gymhwyso rhagfarn negyddol ar y swbstrad. Mae gan y broses ddyddodiad hon yr anfanteision canlynol:

Nid yw tymheredd uchel y matrics yn ffafriol i ddyddodiad ffilm caled ar y swbstrad gyda thymheredd tymer isel.

Ni all bomio ïon ynni uchel gyfuno ffilmiau trothwy adweithiol uchel yn hawdd trwy gynyddu'r ynni bomio ïon.

Mae proses blastro ïon arc rhagfarn, er mwyn atal y bomio parhaus gan ïon yr is-haen sy'n cael ei achosi gan dymheredd y swbstrad yn eithriadol, yn bennaf i leihau'r pŵer gwaddodol, amser byrhau, YN DEFNYDDIO y dull o ddyddodiad rhithgar i leihau tymheredd y dyddodiad, gallai'r mesurau hyn gael eu galw'n rheolwyr ynni fel arfer 'er bod y dull hwn yn gallu lleihau'r tymheredd dyddodiad, ond hefyd yn gwneud rhywfaint o berfformiad o'r ffilm, ond hefyd yn lleihau effeithlonrwydd cynhyrchu a sefydlogrwydd ansawdd y ffilm, felly mae'n anodd ei boblogi a'i chymhwyso.

Mae proses lliniaru ďon pwls rhag argyfwng, oherwydd yr arwyneb is-estron bomio ïon, yn golygu bod y gymysgedd ddyletswydd o ragfarn pwls yn gallu newid y matrics rhwng y graddiant tymheredd mewnol ac arwyneb, ac yna newid y matrics rhwng y mewnol a effaith iawndal isostatig poeth arwyneb, yn cyflawni pwrpas rheoleiddio'r tymheredd dyddodiad. Yn y modd hwn, gellir addasu uchder y pwls rhagfarn ar wahān i dymheredd y gweithle (heb fawr ddim dylanwad arno ar ei gilydd), gellir cael effaith bomio ïon ynni uchel trwy bwls pwysedd uchel i wella strwythur a pherfformiad y ffilm, a chyfanswm effaith gwresogi bomio ïon trwy leihau'r gymhareb ddyletswydd i leihau tymheredd y dyddodiad.

Effaith rhagfarn ar haen y bilen

Mae effeithiau tueddiad ar fecanwaith haenau bilen yn gymhleth iawn, mae llawer o gwmnïau a sefydliadau ymchwil wedi gwneud llawer o ymchwil, o wahanol haen bilen a gwahanol offer, yn effeithio ar y ffordd ac mae'r canlyniadau'n eithaf gwahanol, mae'r canlynol yn rhestr o rai o'r prif effaith, yn ôl eu proses eu hunain, arsylwi, yn gallu deall yn gyflym effeithiau tuedd ar haen bilen.

Strwythur tywyll, cyfeiriadedd strwythur crisialog a strwythur meinwe

Cyfradd adneuo

Glanhau gronynnau mawr

Caledwch ffilm

Dwysedd ffilm

Morffoleg arwyneb

Straen mewnol

Addasodd IKS PVD y peiriant cotio gwactod PVD addas i chi, cysylltwch â ni nawr, iks.pvd@foxmail.com