Cyflenwad Pŵer Magnetron Pwls Uchel-Power

Manteision Technoleg Sputtering Magnetron Pwls Uchel Pulsed (HIPIMS) ◆ Mae'r pŵer ysgogol magnetron DC confensiynol wedi'i gyfyngu gan straen thermol y targed. ◆ Gall y rhan fwyaf o'r ynni gwrthdensiwn ïon droi'n uniongyrchol i egni thermol y targed. ◆ Y ffynhonnell bŵer magnetron pwls ...

Cyflwyniad Cynnyrch

Manteision Technoleg Sputtering Magnetron Pwls Uchel ( HIPIMS )

◆ Mae'r pŵer ysgogol magnetron DC confensiynol wedi'i gyfyngu gan straen thermol y targed.

◆ Gall y rhan fwyaf o'r ynni gwrthdrawiadol ïon droi'n uniongyrchol i egni thermol y targed.

◆ Mae'r ffynhonnell pŵer magnetron pwls yn sicrhau pŵer pwls uchel a chylch dyletswydd isel.

◆ Gall y ffynhonnell pŵer magnetron pwls ddisodli'r ffynhonnell pŵer ysbwriel DC magnetron yn uniongyrchol.

Cymhariaeth rhwng Rhyddhau Sputtering Magnetron Pwls Uchel Pŵer Uchel a Rhyddhau Ysbwriel Magnetron DC

Nodweddion Magnetron Pwls Uchel Pŵer Rhyddhau Sputtering	Nodweddion Rhyddhau Sputtering D Magnetron
Voltage rhyddhau cathod yw 500 ~ 2000 V, dwysedd cyfredol hyd at 3 ~ 4A / cm ² .	Dwysedd y maes magnetig yw 0.01 ~ 0.05 T tra bod y foltedd gweithio yn 300 ~ 700 V o dan y magnetron DC nodweddiadol pwysau gweithio ysgogol (1 ~ 10 mTorr).
Dwysedd electron ger arwyneb y swbstrad: 10 ¹⁸ ~ 10 ¹⁹ m ^- ³	Dwysedd electron ger wyneb y swbstrad: 10 ¹⁵ ~ 10 ¹⁶ m-3
Dwysedd pŵer: 1 ~ 3kW / cm ²	Cyfradd ïoneiddio isel (~ 1%) o'r targed yn ystod ysbwriel.
Amlder: 100 ~ 1000Hz	Mae ïonau nwy annert yn y mwyafrif
Cylch dyletswydd: 1% ~ 10%	Offer ionization ategol ychwanegol (RF of microdon) yn angenrheidiol.

Nodweddion Cyflenwad Pŵer Sputtering Pwls Uchel Pwls Magnetron

◆ Caiff y rhyddhau electrod positif a negyddol ei reoli gan switsh cyflym i'w osgoi rhag mynd i mewn i ardal rhyddhau arc o ardal rhyddhau glow annormal o'r ysbwriel magnetron traddodiadol. Y dwysedd presennol yw hyd at 1018- 1019 / m3, sy'n hynod o uwch na'r ysbwriel magnetron traddodiadol. Ac â chyfradd ionization uchel iawn o 80% -99%, gall yn hawdd adneuo amrywiaeth o ffilmiau uwch gyda gludiant cryf.

◆ Mae pŵer ysbwriel magnetron pŵer uchel yn darparu nodweddion ffilm rhagorol o ran cysondeb ffilm, caledwch, gwrthsefyll gwisgo a gludiog.

◆ Gyda grym ysgogol uchel a beiciau dyletswydd isel, gall cyflenwad pŵer ysbwriel magnetron pŵer uchel gyfnewid ffynhonnell bŵer DC magnetron yn uniongyrchol heb newid yr offer gorchuddio magnetron gwreiddiol magnetron.

◆ Mae technoleg atal arc PHP yn sicrhau bod defnyddwyr yn gallu rheoli ansawdd y ffilm yn fwy cyfleus yn y broses o driniaeth arwyneb. Gyda nodweddion sefydlogi foltedd a coup de foue delfrydol, gall y cyflenwad pŵer atal yr arcing ar wyneb y gweithle yn effeithiol, a gwella'n sylweddol y cynnyrch cynhyrchu, mân wyneb a gludiad ffilm y darnau plastro.

◆ Mae'r cyflenwad pŵer magnetron pŵer uchel pŵer yn mabwysiadu technoleg ffynhonnell newid pŵer newid gwrthdroydd uchel uchel a modiwl pŵer IGBT pŵer uchel.

◆ Gan ddefnyddio'r microcontrolwr sgrin gyffwrdd, mae'r cyflenwad pŵer yn integredig iawn ac yn bwerus gyda gweithrediad hawdd. Mae arddangos y foltedd presennol a foltedd yn glir iawn ac yn reddfol. Hefyd, mae'n cefnogi cyfrif aml-sianel cyflymder uchel a swyddogaeth pwls cyflym.

◆ Mae gan y cyflenwad pŵer y swyddogaethau amddiffynnol ar gyfer gor-gyfredol, gor-foltedd a thros tymheredd.

◆ Gall y cyflenwad pŵer gyfathrebu â'r cyfrifiadur gwesteiwr drwy'r porthladdoedd digidol fel RS232, RS485, WIFI ac yn y blaen, sy'n ehangu ei swyddogaeth reoli.

Manyleb Cynnyrch

Model Cynnyrch	EP50A80H
Pŵer Mewnbwn ac Amlder (V / Hz) Three Phase And Four Wire	AC380 + N
Pŵer Mewnbwn ac Amlder (V / Hz) Three Phase And Four Wire	60Hz
Amrediad Cyfredol Allbwn (A)	0 ~ 500
Cywirdeb ar gyfer Voltag Cyson a Chyson Cyfredol	≤1%
Voltedd Allbwn Graddedig (DCV)	800
Uchafswm pŵer Cyfartalog (KW)	40
Pŵer brig (KW)	400
Seiclo'r ddyletswydd (%)	<>
Pwysau (KG)	60
Dimensiynau Allanol (MM)	575 (D) × 480 (W) × 250 (H)
Gradd Inswleiddio	B
Cynhyrchiant (%)	90
Dosbarth Amddiffyn Cau	Ip21
Modd Gweithredu	Mae Modiwlau Cyson, Voltage Cyson, ModernAnd Cyson yn Opsiynol.
Modd Oeri	Oeri dŵr
Rhyngwyneb Allanol	Mae'r Cynhyrchion Cyfres hwn i gyd yn Mabwysiadu'r Microcontrolwr Sgrin Gyffwrdd

Cymhariaeth rhwng Ffynhonnell Pŵer Sputtering Uchel-Power Impulse Magnetron EP50A80H a Chynhyrchion Eraill

	Sputtering Uchel-Power Impulse Magnetron
Brand	Huttinger	Hauzer	IKS
Model	Truplasma Highpulse 4000	HIPIMS +	EP50A80H
Pŵer Cyfartaledd Uchaf	20KW	20KW	40KW
Pŵer Braf	1MW ~ 8MW	360KW	400KW
foltedd	1KV, 2KV	800	800
Cyfredol	1KA, 2KA, 4KA	600	500
Canfod Arc	<>	<>	<>
Pecynnu (B * H * T)	483x635x676	null	480x268x700

Manteision Pwer Sputtering Magnetron Pwls Uchel EP50A80H

◆ Dibynadwyedd uchel

Mae EP50A80H yn darparu nodweddion ffilm mwy ardderchog o ran cysondeb ffilm, caledwch, gwrthsefyll gwisgo a gludiog.

◆ Technoleg atal arc ardderchog

Mae EP50A80H yn mabwysiadu technoleg atal arc ar gyfer PHP, felly gall defnyddwyr reoli ansawdd y ffilm yn gyfleus yn y broses o driniaeth arwyneb i gael gwell strwythur ffilm.

◆ Cydweddoldeb da

Gall EP50A80H ddisodli'r cyflenwad pŵer cyflymder magnetron presennol yn uniongyrchol. Yn hytrach na disodli'r deunyddiau catod a'r meysydd magnetig, dim ond defnyddwyr sy'n gorfod cyfnewid y system oeri.

◆ Cymhareb pŵer-i-gyfaint uchel

Mae cymhareb cyfaint pŵer uchel yn golygu bod integreiddio gosod offer yn haws i ddefnyddwyr.

Cais

Mae pwer uchel MF magnetron ffynhonnell bŵer yn cael ei ddefnyddio'n helaeth mewn meysydd ymchwil gwyddonol, gwyddonol ac amrywiol, plasma, gall gwrdd ag ystod eang o ofynion prosesau, yn arbennig mewn offer cotio gwactod.